일반적인 공통 사양
| Operating pressure | From atmospheric pressure to 10-6Pa | |
|---|---|---|
| Leakage rate (He) | Less than 9.9×10-11Pa – m3/sec | |
| Atmosphere | For vacuum, inert gas or reactive gas | |
| Materials | Housing | SUS 304 |
| Shaft | SUS 630 | |
| Pole piece | SUS 630 | |
| Bearing | SUJ2 | |
| O-ring | FKM | |
| Bearing lubricant | Vacuum side : Fluorinated vacuum grease Atmosphere side : Anti-corrosive grease |
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| Standard accessories | O-ring Washer and Nut(LSB series) |
|
사용 온도범위-수냉식 없음
아래 나열된 온도는 물 냉각없이 안전하게 마그네틱 씰을 사용하기위한 징후입니다.
이러한 온도 범위를 벗어난 마그네틱 씰을 사용하는 경우 수냉이 필요할 수 있습니다.
| Magnetic fluid | Operating temperature range (no water-cooling) |
|---|---|
| Standard | 10 to 80°C |
| Anti-corrosion | 10 to 100°C |
| Low vapor pressure and anti-corrosion | 10 to 120°C |
기본구조및 베어링 배치 (두가지 구조)
1) Both side suspended struture
2) Cantilever structure
